Panoramica della piattaforma di isolamento attivo

STACIS ® Il III è un sistema di isolamento attivo flessibile. Il sistema di piattaforma di isolamento attivo STACIS utilizza sensori di vibrazione inerziali avanzati, algoritmi di controllo avanzati e attuatori piezoelettrici per filtrare il movimento del suolo misurando in modo continuo l'attività del suolo e poi espandendo e contracendo l'attuatore piezoelettrico per eliminare le vibrazioni in tempo reale.

STACIS**, originariamente progettato per isolare micrografie di precisione, misurazione e apparecchiature di rilevamento in impianti di semiconduttori avanzati, è diventato la soluzione standard del settore** per strumenti sensibili in ambienti rumorosi, inclusi, ma non limitati a, impianti di semiconduttori, laboratori di analisi dei guasti, ricerca in nanotecnologia, impianti di nanoproduzione e centri di ricerca sui materiali.

Il sistema di piattaforma di isolamento attivo STACIS III include un nuovo e migliorato controller digitale DC-2020. Questo nuovo sistema di controllo** dispone di un nuovo processore dual-core, Ethernet e porta seriale USB sul pannello anteriore e posteriore, fornendo agli utenti un'interfaccia grafica utente (GUI) moderna e facile da usare. Con centinaia di installazioni di successo in tutto il mondo, STACIS è il sistema di isolamento ideale per strumenti sensibili alle vibrazioni**.

Vantaggi della piattaforma di isolamento attivo STACIS III

STACIS è centinaia di volte più duro degli isolatori d'aria e non ha alcun limite di sistema di isolamento dell'aria. Non dispone di sospensioni "morbide" e, a differenza del sistema a aria attiva, STACIS può essere posizionato sotto uno strumento con un sistema di isolamento a aria attiva interno, consentendo a entrambi i sistemi di funzionare nello stato **.

Un design seriale unico e una tecnologia piezoelettrica proprietaria ad alta potenza consentono una larghezza di banda attiva di 0,6 Hz***150 Hz e prestazioni di isolamento attivo di 90% a partire da 2 Hz**.

Caratteristiche della piattaforma di isolamento attivo STACIS III

▪ ** Nuovo controller digitale DC-2020 migliorato con interfaccia utente grafica facile da usare

▪ Isolamento inizia a 0,6 Hz e raggiunge un tasso di isolamento del 40%***70% a 1 Hz

▪ Isolamento verticale e orizzontale superiore al 90% a frequenze di 2 Hz e superiori

▪ Ridurre i requisiti infrastrutturali e i costi di costruzione per funzionare correttamente anche con grandi attrezzature di vibrazione esterna

▪ Isolamento efficace da 0,6 Hz a 150 Hz

▪ Ottenere ampio riconoscimento e conferma da molti utenti

▪ Installazione rigida a 6 gradi di libertà senza sospensione a aria

▪ Potenti sistemi di controllo senza ricalibrazione regolare

▪ Progettazione point-of-use per compatibilità perfetta con i sistemi di isolamento vibrazionale esistenti del cliente

▪ Con il cambiamento dell'ambiente esterno, il sistema si regola automaticamente per adattarsi a diverse situazioni di vibrazione esterna

▪ Stacis di TMC ® Tecnologia di attenuazione attiva utilizzando attuatori piezoelettrici

▪ Controller digitali e interfaccia grafica utente (GUI) basata su PC

▪ Migliorare la produzione, la qualità e il tasso di prodotto finito dei clienti.

▪ Conformità alla norma RoHS

▪ ** Ampia larghezza di banda di isolamento attivo, effetto di isolamento a bassa frequenza **

▪ Eliminazione attiva delle vibrazioni di Yaherz ** Isolamento principalmente nella banda di frequenza 0,6-6Hz

▪ Progettazione impilabile

▪ Struttura di montaggio rigida attiva invece di sospensione morbida, senza deriva a bassa frequenza, componenti attivi collegati a molle rigide

▪ La molla passiva filtra la risonanza del carico dal sensore STACIS e richiede poca sintonizzazione, senza alcuna sintonizzazione

▪ Isolatore interno dello strumento compatibile a causa di impedenze non corrispondenti

▪ Carico fino a 2000 kg

▪ Isolamento attivo sul mercato**

Performance della piattaforma di isolamento attivo

Test di carico utile di 4.500 libbre (2.045 kg) con vibrazioni simulate VC-C (500 μin/s, 12,5 μm/s RMS)

Specifiche della piattaforma di isolamento attivo

Specifiche di prestazione

Utenti e applicazioni STACIS

Microelettronica, semiconduttori

▪ Rilevamento del chip

▪ Tecnologia di micrografia

▪ Calibrazione maschera

Ricerca scientifica, nanotecnologia

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3 Il laser

▪ Scienze della vita, ricerca e sviluppo farmacologico

4 Applicazioni industriali

▪ Lavorazione di precisione

Perché scegliere un sistema di isolamento attivo?

▪ Elimina fortemente le vibrazioni del suolo a partire da <1Hz, e la piattaforma pneumatica non può eseguire un isolamento efficace a questa bassa frequenza

▪ Migliorare la qualità e la produttività

▪ Capacità di imaging con caratteristiche più piccole

▪ Ricerca all'avanguardia

▪ Più stabile della piattaforma pneumatica

▪ Soluzione** per soddisfare i parametri di installazione in loco standard SEM

▪ Ridurre i costi di ingegneria per nuove attrezzature di laboratorio e ricerca

Perché scegliere STACIS

▪ È nel cuore dei ricercatori, fornendo il più possibile ** ambiente senza sismi.

▪ ** Sistema di isolamento a bassa frequenza sul mercato.

▪ Attualmente tutti i produttori di SEM hanno pubblicato i requisiti dei parametri di installazione e i parametri di vibrazione necessari richiedono un sistema di isolamento attivo per soddisfare.

▪ STACIS**, inventato negli anni '90, è stato ulteriormente sviluppato, sviluppato e installato da TMC con migliaia di sistemi di isolamento attivo, una soluzione affidabile nel campo del controllo attivo dell'isolamento.

STACIS è centinaia di volte più rigido degli isolatori pneumatici

I tempi di stabilizzazione in risposta alle perturbazioni sono notevolmente ridotti grazie al design in serie unico, ideale per la costruzione di macchine, carichi dinamici, laser o superfici rigide indipendenti che richiedono l'installazione di una fonte di luce.

I seguenti vantaggi sono nel settore **

▪ Larghezza di banda di isolamento attivo STACIS da 0,6 Hz a 150 Hz

▪ Eliminazione attiva delle vibrazioni a 6 gradi di libertà, oscillazione a intervalli di 8-10dB a 1Hz

▪ Isolamento fino al 90% (20dB) a 2-3Hz

Ricerche ambientali professionali

Indagini ambientali prima e dopo l'installazione, tra cui vibrazioni, campi magnetici e onde sonore

Certificazione del sistema ambientale dopo l'installazione

▪ Servizi di indagine ambientali perfetti

▪ Elaborazione di rapporti ambientali professionali

▪ Rilevamento e soluzioni per vibrazioni, campi magnetici e onde sonore

▪ TMC raccomanda agli utenti soluzioni pratiche sulla base della sua vasta esperienza

▪ Oltre 40 anni di esperienza nel settore **

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