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Pompe molecolari per sonde a vuoto a bassa temperatura
Pompe molecolari per sonde a vuoto a bassa temperatura
Dettagli del prodotto

Pompe molecolari Pfeiffer per sonde a vuoto a bassa temperatura
Le sonde a vuoto sono generalmente utilizzate per strumenti complessi e ad alta velocità per l'osservazione superficiale e vari test di prestazioni, che garantiscono la qualità e l'affidabilità dei prodotti e riducono i tempi di ricerca e sviluppo e i costi del processo di fabbricazione del dispositivo. Le sonde sono utilizzate principalmente nel settore dei semiconduttori, dell'industria fotoelettrica, dei circuiti integrati e dei test di imballaggi

Perché un ambiente vuoto?
1. la sonda del vuoto con il gruppo di pompa molecolare, in combinazione con l'uso di un blocco di aspirazione del vuoto e il supporto della sonda di aspirazione del vuoto, attraverso la compressione dell'aria, il campione fisso e il supporto della sonda.
2. Poiché il wafer viene rilevato a temperature ultrabasse, apparirà acqua e congelerà il wafer. L'acqua influisce sulla misurazione, causando un fallimento della misurazione. L'acqua nella cavità del vuoto deve essere scaricata attraverso la pompa del vuoto.
Quando il wafer viene riscaldato a temperature superiori a 300 gradi Celsius, 400 gradi Celsius, 500 gradi Celsius o più, si verifica una forte ossidazione. Più alta è la temperatura, maggiore è l'ossidazione della superficie della scheda di silicio, l'ossidazione ridurrà l'elettricità, la fisicità e la meccanicità del wafer. L'ossigeno nella cavità del vuoto deve essere scaricato attraverso un gruppo di pompe molecolari.

Shanghai Betong turbomolecolare pompa set applicato a bassa temperatura vuoto sonda stand Casi clienti:Un'azienda ha raccomandato l'acquisto della pompa molecolare economica tedesca Pfeiffer HiCube 80 Eco, una pompa molecolare perfettamente combinata con una pompa a membrana, progettata per l'intero impianto, plug-and-play, che fornisce un ambiente pulito, a basse vibrazioni e ad alto vuoto stabile.
涡轮分子泵组
Specifiche tecniche della pompa molecolare Pfeiffer HiCube Eco

Tipo di pompa

Flange di aspirazione

Pompe molecolari
Modello

Velocità di pompaggio
Azoto l/s

vuoto limite
hPa

Tipo di pompa anteriore

Pompa anteriore
Velocità di pompaggio m³/h

Hicube 80 Eco

DN 40 ISO-KF

HiPace 80

35

1X10-7

MVP 015-2

0.5

DN 63 CF-F

HiPace 80

67

1X10-8

MVP 015-2

1

DN 63 ISO-K

HiPace 80

67

1X10-7

MVP 015-2

1


Pumpe turbomolecolari PfeifferModularità complessiva, pompa anteriore integrata interna ePompe molecolari"Plug-and-Use", gamma di velocità da 35 a 685 L/S, vuoto limite 5X10-10 hPa, disponibilePompa molecolare economica ECO,Pompe molecolari standard ClassicePompa turbomolecolare ad alte prestazioni ProPer soddisfare diverse applicazioni, combinazioni consigliateVisiometri Pfeifferuso comune.

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