Catalisi a bassa temperatura - sistema di depurazione ad alta temperatura

Questo sistema di purificazione utilizza un catalizzatore brevettato fatta in casa, questo catalizzatore ha una lunga vita utile, alta profondità di purificazione e una forte volatilità istantanea del gas antimateria prima; Utilizzando il processo di adsorpzione fisica e reazione chimica, prima di rimuovere una grande quantità di impurità H2O, O2, CO e CO2 a temperatura ambiente, quindi rimuovere le impurità residue e N2 attraverso la torre di aspirazione ad alta temperatura, così che l'impurità del gas puro di esportazione sia inferiore a 1 ppb. Questo dispositivo ha caratteristiche come una lunga vita utile e una semplice operazione.

Prestazioni del prodotto

Adatto per l'uso con gas brutto di purezza non inferiore al 99,999%.

◎ Questo prodotto è una struttura doppia, un gruppo di lavoro, un altro gruppo di ricambio di rigenerazione

◎ profondità di purificazione elevata, esportazione di vari contenuti di impurità <1ppb

◎ lucidatura elettrochimica 316 (L) in acciaio inossidabile

Filtro integrato ad alta efficienza 0,003 micron

◎ Questo purificatore è dotato di una torre di pre-purificazione per rimuovere una grande quantità di impurità prima della torre di aspirante di consumo prezioso, in modo da prolungare la vita utile dell'aspirante di consumo prezioso

Applicazione del prodotto

◎ Purificazione dei terminali di gas industriali elettronici come silicio monocristallino ad alta purezza, estensione del chip, circuiti integrati su larga scala e produzione di prodotti fotoelettrici

◎ Attrezzature di processo semiconduttore: CVD, MOCVD, HVPE, forno di diffusione, ecc.

* Purificazione di gas

Parametri del sistema