Flussometro di gas di alta precisione AX10FD Flussometro di azoto Flussometro di massa termico
Utilizzo e caratteristiche
Il Mass Flow Controller (MFC) è utilizzato per misurare e controllare con precisione il flusso di massa del gas. Essi svolgono un ruolo importante nella ricerca scientifica e nella produzione nell'industria dei semiconduttori e dei circuiti integrati, nelle discipline dei materiali speciali, nell'industria chimica e in diversi settori dell'industria, della medicina e delle lampade a vuoto. Le sue applicazioni tipiche includono: apparecchiature di processo elettronico, come diffusione, estensione, CVD、 Ossidazione, corrosione al plasma, spruzzatura, iniezione di ioni; E attrezzature di rivestimento, fusione di fibre ottiche, dispositivi di microreazione, sistemi di distribuzione di gas miscelati, misurazione capillare, cromatografia a gas e altri strumenti di analisi.
Indicatori tecnici principali
Gamma di misurazione (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Precisione +1,5% F.S.
Lineare +0,5 ~ 1,5% F.S.
Precisione di ripetizione +0.2% F.S
Tempo di risposta 10sec Caratteristiche del gas: (1 ~ 4) sec
Differenza di pressione di lavoro 0.1 ~ 0.5MPa
resistenza alla pressione 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Temperatura ambiente di lavoro 0 ~ 70 ℃
Quantità digitale RS485 MODBUS
Quantità analogica DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA opzionale
Caratteristiche elettriche: SLM
Alimentazione DC +15V/24V opzionale, portatore <50mA, controller <200mA
Connessione elettrica DB15
Permissione 1×10 SCCSHe
Base in acciaio inossidabile 316L
Materiale di tenuta Gomma fluorinata, buinolo, neoprene
Collegamento della via dell'aria Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Nota: I flussimetri di massa e i controllori di flusso di massa sono generalmente calibrati in fabbrica con azoto (N₂).
Le unità di flusso di massa sono: SCCM (ml/min standard); SLM (litri standard al minuto)
Flussometro di gas di alta precisione AX10FD Flussometro di azoto Flussometro di massa termico