Misura la riflessività ** della membrana di destinazione, misura lo spessore della membrana e le costanti ottiche con alta precisione! Non-contatto · Non distruttivo · Microscopia
Tempo di misurazione 1 secondo!
Gli spessometri di membrana differenziali (serie OPTM) utilizzano la microspettrometria per misurare la riflessività ** in aree minuscole, consentendo analisi di alta precisione dello spessore della membrana / costanti ottiche. Misura lo spessore di pellicole rivestite in modalità non distruttive e senza contatto, come diverse pellicole, chip, materiali ottici e pellicole multistrato. Alta velocità di misurazione fino a 1 secondo/punto e software per l'analisi delle costanti ottiche anche per i primi utenti
Caratteristiche del prodotto:
La testa integra le funzioni necessarie per misurare lo spessore della pellicola
Misurazione della riflessività di alta precisione** mediante microspettrometria (spessore della membrana a più strati, costante ottica)
Misura ad alta velocità 1:1 sec.
Sistema ottico a vasta gamma sotto luce differenziale (ultravioletto*** vicino infrarosso)
Meccanismi di sicurezza dei sensori regionali
Facile guida per l'analisi, l'analisi delle costanti ottiche è possibile anche per i principianti
Testa di misura indipendente per diverse esigenze di personalizzazione in linea
Supporta varie personalizzazioni
Prodotti di misurazione:
** Misura della riflessività
Analisi multi-strato
Analisi delle costanti ottiche (n: coefficiente di rifrazione, k: coefficiente di attenuazione)
Applicazione:
Semiconduttore: regolazione automatica del campione del wafer, rilevamento della piegatura del wafer
Componenti ottici: rilevamento della radiazione, della piegatura, ecc.
Specifiche del prodotto:
OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
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Intervalo di lunghezza d'onda |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
Gamma di spessore della membrana |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
Tempo di misurazione |
1 secondo / 1 punto |
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Dimensioni della macchia |
10 μm (*** piccolo circa 5 μm) |
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Elementi sensori |
CCD |
InGaAs |
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Specifiche della sorgente luminosa |
Lampada di deuterio + alogeno |
Lampade alogeniche |
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Specifiche di alimentazione |
AC100V±10V 750VA (specifiche del banco di campionamento automatico) |
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Dimensioni |
555(L) × 537(D) × 568(H) mm (parte principale delle specifiche del banco di campionamento automatico) |
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Peso |
Circa 55 kg (parte principale delle specifiche del banco automatico di campionamento) |