Microscopio di forza atomica Park Systems XE-15

Descrizione dello strumento:

Park XE-15 è completamente compatibile con i campioni. Le sue diverse banche di campionamento sono progettate per fornire un ambiente di prova conveniente e affidabile per campioni di diverse dimensioni, forme e quantità. Lo scanner XY a circuito chiuso disaccoppiato elimina gli errori di effetto di piegatura e fornisce linearità. La modalità di scansione autentica senza contatto amplia la varietà di campioni adatti, prolungando notevolmente la vita della sonda e riducendo i costi di utilizzo.

Parametri tecnici del microscopio di forza atomica Park Systems XE-15:

Scanner

Scanner XY

Scanner monomodulo a controllo a circuito chiuso flessibile

Gamma di scansione 100μm * 100μm (opzionale 50μm * 50μm)

Offset di piano: <2nm (scansione 40μm * 40μm)

Scanner Z

Scanner potente con guida flessibile

Gamma di scansione 12μm (25μm opzionale)

Frequenza di risonanza: > 5kHz

Rumore di immagine superficiale: 0,03 nm

Banca campioni

Tipo di tavolo del campione: tavolo del campione a 16 punti / tavolo di assorbimento al vuoto di diametro 150 mm (tavolo di assorbimento al vuoto di diametro 200 mm opzionale)

Dimensioni del campione: 150mm * 150mm * 20mm

Peso del campione: zui grande 500g

Gamma di movimento del tavolo del campione: 150mm * 150mm (opzionale 200mm * 200mm)

Caratteristiche principali:

I. Progetto innovativo del banco di campionamento a più punti per fornire efficienza di lavoro

• Può scansionare più di 16 campioni in una sola operazione

● Posizionamento semplice dei campioni e scansione rapida

Migliora notevolmente l'accuratezza e la ripetibilità dei dati

Supporto a campioni di grandi dimensioni per soddisfare le esigenze di sviluppo dell'industria

● Zui supporta grandi wafer da 200 mm per soddisfare le esigenze attuali e future degli utenti

• Progettazione specifica per soddisfare le esigenze reali degli utenti relativi ai semiconduttori

Ricca scelta di modalità funzionali

Supporto completo per varie funzioni SPM

Supporto di diverse modalità di misurazione opzionali

Supporto di vari accessori opzionali per prestazioni superiori