1Caratteristiche tecniche

lMicroscopio a doppio campo visivo ad alta ingrandimento e22Il display LCD a schermo largo da pollici osserva il processo di allineamento e fornisceUSBesportazione; Per un allineamento di alta precisione e per il rilevamento dei risultati di esposizione

lCon l'illuminazione inversa, la sostituzione delle lampade al mercurio è più conveniente, il raffreddamento del calore e la luce anti-perdita sono migliori

lAlineamento e esposizione a doppia stazione, commutazione automatica a doppia stazione

lUtilizzo di computer incorporati+Operazione touch screen, più comodo e più elegante

lLa versione è molto conveniente, elevato grado di automazione e facile da usare. Ricerca scientifica per l'insegnamento universitario (buona affidabilità, facile dimostrazione) e fabbriche(Alta efficienza)Particolarmente adatto

2Parametri tecnici

lArea di esposizione:100mm×100mm(Può essere aggiornato a6pollici)

lLunghezza d'onda di esposizione:365nm

lRisoluzione:≤1mm(spessore1.5 mmdella colla)

lPrecisione di allineamento:±0.6mm

lGamma di movimento del banco di scansione del microscopio:X：10mm;Y:10mm

lDimensioni della maschera:2.5pollici,3pollici,4pollici,5pollici

lDimensioni del campione: diametrof15mm--f100mm(Vari film irregolari)

Spessore0.1mm--6mm

lMetodo di esposizione: cronometro (conto alla rovescia) e dose fissa

lEsposizione a contatto vuoto, esposizione a contatto duroluceEsposizione a contatto a pressione e esposizione di prossimità quattro funzioni

lDisuguaglianza di illuminazione: 3%（f100mmportata)

lMicroscopio a doppio campo visivo: sia attraverso gli occhialiVisioneAlineamento, può anche passareCCD+Allineamento del monitor, imaging ottico, massimo moltiplicatore ottico400Molte volte, ottica+Ampliazione elettronica800Molte volte

Tre coppie di oggetti:4volte,10volte,20Molte volte

Tre coppie di occhiali:10volte,16volte,20Molte volte

lLa regolazione della pressione di contatto garantisce la ripetizione attraverso il sensore

lImpostazione digitale degli spazi di allineamento e degli spazi

lCon interfaccia modulo stampa e interfaccia modulo vicina

lMaschera in relazione al percorso di movimento del campione:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lSpessore massimo:400mm（SU8colla, l'utente fornisce le condizioni di rilevamento)

lParallelismo della luce:3?

lDensità energetica di esposizione:>25mW/cm2,Temperatura della superficie dell'illuminazione<35?C

lEsposizione singola con un solo clic

lUtilizzo di palla di galleggiamento+Trova tre artiglie

lPotenza della lampada di mercurio:350W(corrente continua,Importazione）

3Dimensioni:1400mm(Lungo)?900mm(Larghezza)?1500mm(Alto)

4Configurazione

（1Esposizione della testa

lElliscopio a luce fredda

l350WLampade di mercurio ad alta pressione a corrente continua importate(Osram, Germania)

lXYZRegolatore di lampade a mercurio

lVentilatore di raffreddamento

lSistema ottico: barra di luce fissa, barra di luce variabile, otturatore, specchio orizzontale1Specchio diretto2Gruppo di lenti occhio mosca (79delle lenti),iFiltro lineare, specchio di campo, riflettore freddo1Lo specchio riflettente2

（2(Alineamento del banco di lavoro)

lBase della fotografia

lStazione di commutazione (cilindro)

lMaschera modello complessivo tavolo sportivo

lMaschera campione relativo sport tavolo

lTavolo rotante

lAgenzia di regolazione del campione,Completamento automatico a tre punti

lMeccanismo di messa a fuoco del campione, regolazione automatica del motore

lStruttura di estrazione a base

lStudio4uno:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(può essere ridotto su richiesta dell'utente)

lMaschera clip4uno:2.5pollici,3pollici,4pollici,5Pollici (su richiesta dell'utente)

lStruttura di estrazione del campione in alto e in basso

（3Microscopio di allineamento

lfonte di luce, Alimentazione

lObiettivo del microscopio a doppio campo visivo

lOcchiali3Sì.10volte,16volte,20Molte volte, in totale6uno)

lOggetto3Sì.4volte,10volte,20Molte volte, in totale6uno)

lCCDsistema di allineamento,22Display LCD a pollici

（4Sistema di controllo elettronico

lLa lampada di mercurio attiva l'alimentazione(350WLampada di mercurio a corrente continua)

lSistema di controllo monochip

lPannello di controllo

lTavolo di controllo

（5Sistema pneumatico

lCilindri, valvole elettromagnetiche, valvole di riduzione della pressione, interruttori pneumatici, ecc.

lazionamento valvola elettromagnetica

lStrumenti pneumatici

（6Altri allegati

lPompa per vuoto 1

lCompressore d'aria 1

lTubi di interfaccia

（7Informazioni tecniche

lIstruzioni di manutenzione

lCertificato di ispezione del prodotto