Parametri di valutazione |
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Parametri di valutazione |
Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
campo di misura |
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Zasse |
800μm |
Xasse |
50mm |
Precisione di rettitudine |
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Precisione di rettitudine |
0.4μm |
Risoluzione(ZAsse) |
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Risoluzione(ZAsse) |
0.001μm |
Numero di campioni/Risoluzione |
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Numero di campioni/Risoluzione |
9600drop/16bit |
filtro |
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filtro |
Gaussiano(Gaussian)Filtro(ISO11562:1996),2RCfiltro |
Lunghezza del campionamento |
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Lunghezza del campionamento |
λc╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) |
Lunghezza d'onda di taglio |
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Lunghezza d'onda di taglio |
0.25,0.8,2.5 |
velocità di misurazione |
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velocità di misurazione |
0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s |
velocità di ritorno |
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velocità di ritorno |
(Automatico)1mm/s |
Errore di indicazione |
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Errore di indicazione |
±5% |
Stabilità dell'indicazione |
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Stabilità dell'indicazione |
3% |
Ripetibilità della misura |
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Ripetibilità della misura |
3% |
Ingrandimento della grafica |
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Ingrandimento della grafica |
10-500000Regolazione automatica |
sensore |
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sensore |
punta dell'agoR=2μmDiamante (potenza di misura)1mN) |
R=5μmdiamante(Forza di misura4mN) |